Машина для розрідження пластин карбіду кремнію в основному використовується для розрідження матеріалів підкладки, таких як кремнієва пластина, арсенід галію, кераміка з карбіду кремнію, цирконієва кераміка, графіт, танталат літію тощо.
Високоточні верстати для вертикального шліфування пластин можуть шліфувати напівпровідникові матеріали третього покоління, такі як SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. Серія DL-GSD - це саморобна шліфувальна машина в Китаї, її продуктивність досягла світового стандарту.